類金剛石具有比較高的硬度、高導(dǎo)熱性、高絕緣性、良好的化學(xué)穩(wěn)定性、從紅外到紫外的高光學(xué)透過(guò)率和良好的減摩特性等。這與金剛石相似,但是,除減摩性能優(yōu)良外,其它性能均低于金剛石膜。類金剛石膜可廣泛用于機(jī)械、電子、光學(xué)、熱學(xué)、聲學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,并且作為減摩耐磨涂層應(yīng)用于航空航天、金屬加工、醫(yī)療器件等眾多領(lǐng)域。
類金剛石涂層DLC是由碳和氫組成的非晶態(tài)或納米晶態(tài)碳薄膜,具有類似天然金剛石的結(jié)構(gòu)和性質(zhì),DLC涂層的制備方法和應(yīng)用因其結(jié)構(gòu)和性質(zhì)的差異而有所不同。
類金剛石(DLC)涂層的制備方法
化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、離子束沉積(IBAD)、射頻等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)。
不同類型的DLC涂層
含氫型(a-C:H): 含有較高比例的氫,具有較高的抗刮擦性和較低的摩擦系數(shù)。適用于工具涂層、軸承等應(yīng)用。
含碳型(a-C):含有較低比例的氫,具有較高的硬度和耐磨性。適用于硬質(zhì)涂層、光學(xué)涂層等。
氮摻雜型(a-C:N):含有氮元素,具有改善涂層硬度和抗氧化性的特性。適用于工具涂層、摩擦件等。
硅摻雜型(Si-DLC):含有硅元素,提高了涂層的化學(xué)惰性和熱穩(wěn)定性,適用于生物醫(yī)學(xué)、電子器件等領(lǐng)域。
類金剛石(DLC)涂層的應(yīng)用領(lǐng)域
機(jī)械工業(yè): 用于刀具、軸承、齒輪等零部件的表面涂層,提高硬度和耐磨性。
醫(yī)學(xué)和生物醫(yī)學(xué): 用于生物醫(yī)學(xué)設(shè)備、人工關(guān)節(jié)、植入物等,具有優(yōu)異的生物相容性。
電子器件: 用于涂層電子器件表面,提高硬度、耐磨性和化學(xué)穩(wěn)定性。
光學(xué)涂層: 用于光學(xué)元件表面,改善抗反射、硬度和耐磨性。
摩擦材料: 用于提高摩擦材料表面的性能,如摩擦片、摩擦盤等。
新能源: 用于太陽(yáng)能電池和鋰電池
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