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一、涂層厚度分布

DLC涂層的厚度分布應(yīng)均勻，無明顯的局部厚薄不均現(xiàn)象。

二、測(cè)量位置

涂層厚度的測(cè)量位置應(yīng)選取在涂層的代表性區(qū)域，包括各個(gè)主要涂層區(qū)域，以確保測(cè)量的準(zhǔn)確性和可靠性。測(cè)量位置應(yīng)選取在涂層表面平整、無劃痕、無氣泡等缺陷的區(qū)域。

三、精度要求

DLC涂層厚度的測(cè)量精度應(yīng)符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)定的要求。通常情況下，測(cè)量精度應(yīng)控制在士5%以內(nèi)，以確保涂層厚度的準(zhǔn)確性。

四、表面粗糙度

DLC涂層的表面粗糙度應(yīng)符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)定的要求。表面粗糙度應(yīng)控制在一定的范圍內(nèi)，以確保涂層的附著力和耐性能。

五、外觀質(zhì)量

DLC涂層的外觀質(zhì)量應(yīng)符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)定的要求。涂層表面應(yīng)平整、光滑、無氣泡、無劃痕等缺陷，色澤均勻，具有一定的美觀度。

六、硬度要求

DLC涂層的硬度應(yīng)符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)定的要求。硬度值應(yīng)在一定的范圍內(nèi)，以確保涂層的耐磨性能和使用壽命。

七、DLC鍍層厚度測(cè)試方法:

1、磁性法

磁性測(cè)厚儀測(cè)量永久磁鐵和基體金屬之間由于存在覆蓋層而引起磁引力的變化，或者是測(cè)量穿過覆蓋層與基體金屬的磁通路的磁阻。測(cè)試范圍:適合測(cè)量磁性金屬上非磁性鍍層:

2、金相法

采用金相顯微鏡檢測(cè)橫斷面，直接以標(biāo)尺以輔助測(cè)量金屬覆蓋層、氧化膜層的局部厚度的方法，測(cè)試范圍:一般厚度檢測(cè)需要大于1um，才能保證測(cè)量結(jié)果在誤差范圍之內(nèi):厚度越大，誤差越小。測(cè)試方法的優(yōu)缺點(diǎn):它屬于破壞法，其優(yōu)點(diǎn)在于適用的鍍層。

3、庫侖法

測(cè)試原理:庫侖法測(cè)厚是對(duì)被測(cè)部分的金屬鍍層進(jìn)行局部陽極溶解通過陽極溶解鍍層達(dá)到材料基體時(shí)的電位變化來進(jìn)行鍍層厚度的測(cè)量。庫侖法測(cè)厚，將被測(cè)金屬鍍層作為陽極:并置于電解液中進(jìn)行電解，所溶解的金屬量與通過的電流和溶解時(shí)間的乘積成比例，既與消耗的電量成比例。

測(cè)試范圍:適合測(cè)量單層和多層金屬覆蓋層厚度陽極溶解庫侖法，包括測(cè)量多層體系，如Cu/Ni/Cr以及合金覆蓋層和合金化擴(kuò)散層的厚度。

4、電鏡法

掃描電鏡在對(duì)圖像成像時(shí)，可以非常方便地利用軟件對(duì)樣品進(jìn)行膜厚測(cè)量，并且會(huì)精確顯示測(cè)得的膜厚。