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含氫類金剛石DLC涂層的主要成份是碳，是一種兼有高硬度與優(yōu)異摩擦性能的非晶體硬質(zhì)薄膜由石墨(SP2)與金剛石(SP3)組成。SP3金剛石的碳原子在空間構(gòu)成連續(xù)、堅(jiān)固的骨架結(jié)構(gòu)，所以堅(jiān)硬，成正八面體晶狀體。SP2石墨的碳原子呈平面層狀結(jié)構(gòu)，層與層之間的作用力小，所以很軟，能導(dǎo)電，有滑感的鱗片狀結(jié)構(gòu)此類類金剛石(DLC)涂層通常由含氫(H)氣體如乙炔C2H2，甲烷CH4經(jīng)過PECVD的方式獲得.而且可以在較低工藝溫度下獲得，工藝溫度最低可以低于80°C，從而可以有效解決材料熱變形等缺陷。

由于其優(yōu)異的摩擦性能，在工業(yè)上得到廣泛應(yīng)用。特別是在無潤滑劑情況下，摩擦系數(shù)也很低(µ=0.005～0.2)。含氫類金剛石DLC涂層摩擦系數(shù)小，而且抗粘附性好，硬度高、耐磨性優(yōu)良。

類金剛石DLC涂層的特性

薄膜厚度：<=3um

摩擦系數(shù)：0.05~0.1

薄膜硬度：<30GPa (HV3000)

最高使用溫度：350°C

薄膜顏色： 黑色/黑灰色

工藝溫度： 80~150°C

涂層結(jié)構(gòu)： 納米單層/復(fù)合