類金剛石涂層(DLC)是一種由碳元素構(gòu)成、在性質(zhì)上和鉆石類似,同時又具有石墨原子組成結(jié)構(gòu)的涂層物質(zhì),是一種非晶態(tài)薄膜,具有高硬度和高彈性模量、低摩擦因數(shù)、耐磨損以及良好的真空摩擦特性,因此通常作為耐磨涂層使用。
DLC 涂層即類金剛石涂層,泛指不定性碳的晶體結(jié)構(gòu)材質(zhì)。在該材質(zhì)中碳原子以不同的排列方式錯中夾雜的結(jié)合在一起,從而使得該涂層具有天然的優(yōu)良性能。
1、力學性能
a、硬度及彈性模量。不同的沉積方法制備的DLC膜硬度及彈性模量差異很大,用磁過濾陰極電弧法可以制備出硬度達到甚至超過金剛石的DLC膜,用陰極電弧法制備的DLC膜比較高硬度可達50GPa以上,而用離子源結(jié)合非平衡磁控濺射法制備的DLC膜硬度達21GPa。膜層內(nèi)的成分對膜層的硬度有一定的影響, Si、N的摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高的彈性模量,雖低于金剛石(110GPa),但明顯高于一般金屬和陶瓷的彈性模量。
b、內(nèi)應(yīng)力和結(jié)合強度。薄膜的內(nèi)應(yīng)力和結(jié)合強度是決定薄膜的穩(wěn)定性和使用壽命,影響薄膜性能的兩個重要因素,內(nèi)應(yīng)力高和結(jié)合強度低的DLC膜容易在應(yīng)用中產(chǎn)生裂紋、褶皺,甚至脫落,所以制備的DLC膜比較好具有適中的壓應(yīng)力和較高的結(jié)合強度。大部分研究表明,直接在基體上沉積的DLC膜的膜\基結(jié)合強度一般比較低,通過采用Ti\TiN\TiCN\TiC中間梯度過渡層的方法提高DLC膜與基體的結(jié)合強度,在模具鋼上沉積DLC膜的結(jié)合強度達44N-74N,制備的膜導(dǎo)總體厚度可達5um。
2、摩擦性能
DLC膜不僅具有優(yōu)異的耐磨性,而且具有很低的摩擦系數(shù),一般低于0.2,是一種優(yōu)異的表面抗磨損改性膜。DLC的摩擦系數(shù)隨制備工藝的不同和膜中成分的變化而變化,其摩擦系數(shù)比較低可達0.005。摻雜金屬元素可能降低其摩擦系數(shù),但加入H能提高潤滑作用,環(huán)境也對摩擦系數(shù)有一定的影響。但總的來說,DLC膜與傳統(tǒng)的硬質(zhì)薄膜(如上述的TiN、TiC、TiAlN等)相比,在摩擦系數(shù)方面具有明顯優(yōu)勢,這些傳統(tǒng)硬質(zhì)薄膜的摩擦系數(shù)都在0.4以上。因此,DLC膜有可能在許多摩擦學領(lǐng)域替代這些傳統(tǒng)硬膜。制備的摻金屬DLC膜具有良好的抗摩擦磨損性能及低達0.13-0.15的摩擦系數(shù)。
3、熱穩(wěn)定性
由于DLC屬亞穩(wěn)態(tài)的材料,熱穩(wěn)定性差是限制DLC膜應(yīng)用的一個重要因素,在300℃以上退火時即出現(xiàn)了sp3鍵向sp2鍵轉(zhuǎn)變,為此,人們進行了大量的工作試圖提高其熱穩(wěn)定性。有研究發(fā)現(xiàn):Si的加入可以明顯改善DLC膜的熱穩(wěn)定性,含20 at%Si的DLC膜在740℃退火時才出現(xiàn)sp3鍵向sp2鍵轉(zhuǎn)變。同樣,金屬(如Ti、W、Cr)的摻入也可提高DLC膜的熱穩(wěn)定性。
4、耐腐蝕性
純DLC膜具有優(yōu)異的耐蝕性,各類酸、堿甚至王水都很難侵蝕它。但摻雜有其他元素的DLC膜的耐蝕性有所下降,這是由于摻雜的元素首先被侵蝕,從而破壞了膜的連續(xù)性所致。
5、表面狀態(tài)
DLC膜表面一般較光潔,對基材的表面光潔度沒有太大的影響,但隨著膜厚的增加,表面光潔度會下降。不同的沉積方法所得到的DLC膜表面光潔度也是不同的,采用離子源技術(shù)沉積的DLC膜表面質(zhì)量明顯優(yōu)于電弧離子鍍。
DLC膜具有很好的抗粘結(jié)性,特別是對有色金屬(如銅、鋁、鋅等),對塑料、橡膠、陶瓷等也有抗粘結(jié)性。
(1)鉆頭、銑刀
DLC膜可以應(yīng)用于鉆頭和銑刀上,特別是摻雜金屬的DLC膜,它不僅具有 高的硬度,還具有低的摩擦系數(shù)、抗有色金屬粘結(jié)。
(2)光盤模具及其輔助模具
光盤模具是生產(chǎn)CD、CDR、DVD的重要工具,為了減少它與母盤(鎳 盤)的摩擦,希望模具表面硬且摩擦系數(shù)小,目前,國外大多采用DLC膜層,大大提高了模具的壽命和盤片的質(zhì)量。鍍膜之后有硬度高,摩擦系數(shù)低,耐磨,耐腐蝕,抗粘結(jié)性好且環(huán)保等特點。
(3)芯軸
DLC膜的耐磨減摩及耐腐蝕性,可顯著提高齒輪、芯軸等運動部件的使用性能及壽命。
(4)刀片上的應(yīng)用
現(xiàn)在DLC也在各種刀片如剪刀、刮胡刀等上的應(yīng)用。DLC膜減小了刀片與 皮膚的摩擦,改善了刀片的性能,延長了使用壽命。
(5)關(guān)鍵零部件上的應(yīng)用
DLC膜在許多關(guān)鍵零部件也能發(fā)揮其優(yōu)良的性能,如在制成式斯特林制冷機的活塞上的應(yīng)用利用其低的摩擦系數(shù),降低摩擦力,提高耐磨性,達到無油潤滑及使用壽命要求。
在縫紉機配件-旋梭上鍍DLC膜替代原來的電鍍硬鉻處理,不但避免了污染環(huán)境的問題,而且,明顯提高工件表面硬度及耐磨性,使用壽命提高了10倍以上,同時,也因表面膜層摩擦系數(shù)降低后,使機器運行過程中產(chǎn)生的噪音變小。
(6)其它應(yīng)用
DLC膜在工模具上的應(yīng)用其它例子非常多,如:粉末冶金成型模具、塑膠成型模具、引線框彎曲模具、玻璃片成型模具、鎂合金加工模具、在軸承等。
【責任編輯】陽一