納隆類金剛石碳基涂層因其高的抗腐蝕性、化學惰性、抗磨 損性和低的摩擦系數(shù)等優(yōu)異性能,被廣泛用作保護涂層。通過向 DLC 涂層中摻雜 Si 元素不僅可以進一 步提高涂層的性質(zhì),而且還可以通過控制 Si 的摻入 量,沉積低應(yīng)力的多層結(jié)構(gòu)。這種多層結(jié)構(gòu)不但可 以沉積厚膜,而且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以增強其抗腐蝕性能。
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