DLC膜層的機(jī)械、電學(xué)、光學(xué)和摩擦學(xué)特性類似于金剛石,導(dǎo)熱性是銅的2~3倍,且透明度高和化學(xué)穩(wěn)定性好,具有極高的硬度、良好的抗損、優(yōu)異的化學(xué)惰性、低介電常數(shù)、寬的光學(xué)帶隙以及良好的生物相容性等特性,通常厚度為2~4μm,表面硬度可達(dá)2500HV,且具有極低的摩擦因數(shù)(0.04,是鋼的1/5)。
DLC膜層具有高硬度和高彈性模量,同時具有熱導(dǎo)率高、耐腐蝕、耐磨損以及良好的真空摩擦學(xué)特性,所以很適合于作為耐磨涂層。目前制備DLC薄膜的方法很多,工藝溫度可低至100~250℃目前對DLC膜層尚無明確的定義和統(tǒng)一的概念(認(rèn)為達(dá)到天然金剛石硬度、20%的絕緣無定形碳膜就稱為DLC膜層)。不同的制備方法與不同的沉積方法制備的DLC膜層硬度差異很大,因sp2/sp3以及氫含量不同,薄膜的力學(xué)性能也不同。
DLC涂層是一種類金剛石涂層,具有高硬度、低摩擦系數(shù)、良好的耐磨性和化學(xué)穩(wěn)定性等優(yōu)點,常用于刀具、模具、汽車零部件等領(lǐng)域的表面處理。DLC涂層的加工工藝流程一般包括以下幾個步驟:
1.預(yù)處理:對基材進(jìn)行清洗、拋光等處理,以去除表面的污垢、氧化物和粗糙度,提高涂層的附著力。
2.等離子體預(yù)處理:使用等離子體技術(shù)對基材表面進(jìn)行活化處理,增加表面能,提高涂層的附著力。
3.后處理:對涂層進(jìn)行拋光、等處理,以提高表面光潔度和精度。
4.涂層沉積:采用物理氣相沉積等方法,在素材表面沉積DLC涂層。
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