DLC類金剛石碳涂層,是一種SP3(金剛石結(jié)構(gòu))和SP2(石墨結(jié)構(gòu))或與氫、硅、氣和金屬等元素雜化的人工材料。DLC是碳膜材料的統(tǒng)稱,它具有高硬度、耐腐蝕、低擦、絕緣等多種特性,其各異化的性能取決于結(jié)構(gòu)鍵的比例和配位鍵元素的種類。
DLC具有部分金剛石的特性,比工業(yè)中使用的大多數(shù)金屬材料都要硬,是機械設(shè)備中最常用的自潤滑涂層,目前DLC類金剛石碳涂層有以下種類:
a-C=無氫非晶碳膜
a-C:H=含氫非晶碳膜
ta-C=四面體無氫非晶碳膜
ta-C:H=四面體含氫非晶碳膜
a-C:X=元素摻雜無氫非晶碳膜
DLC類金剛石碳涂層通常厚度為1-5微米,DLC表面硬度一般在1800HV~2200HV之間。DLC類金剛石碳涂層裝飾鍍DLC在1微米以內(nèi);但接近0.5微米時,DLC會出現(xiàn)炫彩,或者叫七彩DLC。不同的顏色以及不同的均勻度,可以反映出DLC的膜厚。
DLC類金剛石碳涂層可以廣義理解為SP2和SP3鍵構(gòu)成的雜化膜系,其中以石墨為靶材,無氫無定形四面體碳膜a-C,隨著SP3的含量增加,硬度顯著增加甚至到6000HV,但是膜厚因內(nèi)應(yīng)力原因,通常在0.3-0.5微米之間。但DLC是一個高度可定制的膜系,可以通過改變膜的晶格結(jié)構(gòu)、元素參雜和鍍膜工藝,實現(xiàn)不司屬性的碳膜,如8微米以上超厚DLC和超厚ta-C(硬度通常會降低到3500HV以下)。
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