DLC涂層是在電離和分解的碳或烴類物質(zhì)在基底表面時(shí)形成的,DLC膜具有優(yōu)異的機(jī)械(高硬度)、光學(xué)(高光學(xué)帶隙)、電學(xué)(高電阻率)、化學(xué)(惰性)和摩擦學(xué)(低摩擦和磨損系數(shù))性能。
DLC薄膜通常是由sp2(石墨)和sp3(金剛石)相的混合物組成。DLC膜對鋼的摩擦系數(shù)一般在0.05-0.10之間,而膜硬度和sp3含量可以根據(jù)具體應(yīng)用而定制。含金屬和氫的DLC(Me-DLC或a-C:H:Me)在1800-2800HV范圍內(nèi),而四面體非晶碳(ta-C)在4000-8000HV范圍內(nèi)。
DLC涂層是一種采用化學(xué)氣相沉積技術(shù)在材料表面形成的一種非晶態(tài)硬碳薄膜涂層。它具有硬度高、耐磨損、耐腐蝕、摩擦系數(shù)低、導(dǎo)熱性能好等多項(xiàng)優(yōu)點(diǎn),因此被廣泛應(yīng)用于工業(yè)制造和高科技領(lǐng)域。所以評估DLC涂層對產(chǎn)品質(zhì)量和性能的影響程度需要綜合考慮下述幾個(gè)方面:
1.功能性能評估:DLC涂層的主要作用是提供材料的表面硬度,增強(qiáng)耐磨損性能和耐腐蝕性能。因此,產(chǎn)品在經(jīng)過DLC涂層后,其抗磨損、抗腐蝕耐磨損等性能應(yīng)得到很好改善。
2.工藝參數(shù)評估:DLC涂層的制備工藝參數(shù)對之后涂層的性能影響很大。評估DLC涂層對產(chǎn)品質(zhì)量的影響程度,需要考慮制備工藝參數(shù)的合理性,如沉積溫度、沉積壓力、沉積時(shí)間等。
3.物理性能評估:DLC涂層的物理性能對產(chǎn)品質(zhì)量和性能有著直接影響。物理性能主要包括硬度、致密性、厚度均勻性等。
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