DLC 膜層的機(jī)械、電學(xué)、光學(xué)和摩擦學(xué)特性類似于金剛石,導(dǎo)熱性是銅的 2~3 倍,且透明度高和化學(xué)穩(wěn)定性好,具有極高的硬度、良好的抗磨損、優(yōu)異的化學(xué)惰性、低介電常數(shù)、寬的光學(xué)帶隙以及良好的生物相容性等特性,通常厚度為1~2 m,表面硬度可達(dá) 2 500 HV,且具有極低的摩擦因數(shù)(0.15 ~ 0.25,是鋼的1/5)。
因?yàn)?/font> DLC 膜層具有高硬度和高彈性模量,時(shí)具有熱導(dǎo)率高、耐腐蝕、耐磨損以及良好的真空摩擦學(xué)特性,所以很適合于作為耐磨涂層。目前制備 DLC 薄膜的方法很多,工藝溫度可低至100 ~ 250C目前對(duì) DLC 膜層尚無明確的定義和統(tǒng)一的概念(認(rèn)為達(dá)到天然金剛石硬度、20% 的絕緣無定形碳膜就稱為 DLC 膜層)。不同的制備方法與不同的沉積方法制備的 DLC 膜層硬度差異很大, sp/sp以及含量不同,薄膜的力學(xué)性能也不同。
所以也有很多做DLC涂層的用戶想了解一下膜層厚度,下面給下面介紹一下測(cè)量膜層厚度的方法。
DLC 涂層膜厚測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)通常需要遵循以下步驟:
1.準(zhǔn)備樣品:選取具有代表性的 DLC 涂層樣品,確保表面平整無瑕疵。
2.儀器準(zhǔn)備:使用膜厚測(cè)量?jī)x進(jìn)行測(cè)試,確保儀器處于正常工作狀態(tài),并校準(zhǔn)儀器
3.測(cè)試區(qū)域選擇:在樣品上選擇至少五個(gè)不同的測(cè)試區(qū)域,確保這些區(qū)域具有代表性。
4.膜厚測(cè)量:在每個(gè)測(cè)試區(qū)域進(jìn)行膜厚測(cè)量,并記錄數(shù)據(jù)
5.數(shù)據(jù)處理:對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和分析,計(jì)算平均膜厚、最大膜厚和最小膜厚等參數(shù)。
6.結(jié)果判定: 根據(jù)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)和要求,對(duì)膜厚數(shù)據(jù)進(jìn)行比較和判定確定是否符合預(yù)期要求
需要注意的是,DLC 涂層膜厚測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)的具體細(xì)節(jié)可能因不同的應(yīng)用場(chǎng)景和要求而有所不同。因此,在實(shí)際操作中,需要結(jié)合具體情況進(jìn)行選擇和操作。
【責(zé)任編輯】小編