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   由于半導(dǎo)體精密配件球閥長期收到各類化學(xué)物質(zhì)腐蝕侵蝕，并且在使用過程中容易收到擠壓和摩擦，在使用一段時(shí)間后，球閥的為提高球閥的表面就會出現(xiàn)磨痕，表面出現(xiàn)裂痕，所以這樣嚴(yán)重影響到球閥的密封性。

如何提升球閥表面的耐刮性且擁有高硬度呢？

球閥加工廠找到了WCC涂層廠，希望能夠幫忙解決這個(gè)問題，WCC涂層是摻鎢含氫非晶碳（a-C:H:W）DLC涂層。與其他元素相比較而言，這種W-DLC涂層數(shù)字較低(通常在干式情況下為0.1~ 02)，因此具備出眾耐磨損性能以及優(yōu)異耐轉(zhuǎn)動接觸疲勞性能。生產(chǎn)的此類W-DLC涂層典型沉積溫度低于160°C, 可以在不軟化熱敏性鋼 (如100Cr6) 的條件下完成其鍍膜過程 。它的可以讓球閥擁有自潤滑性，且摩擦系數(shù)小，硬度高，光潔度高，抗刮性很強(qiáng)，所以是再合適不過的選擇了。

  我們也做了研究，在球閥表面鍍上 WCC下涂層后，它之后在工作中的裂紋情況、稀釋率及硬度研究結(jié)果表明,隨著WCC含量升高涂層硬度顯著提高稀釋率逐漸降低，且表面也不會經(jīng)常因?yàn)槌霈F(xiàn)磨痕以及裂痕也影響其使用壽命，目前球閥在表面增加了WCC膜層后，使用壽命明顯提升了3-4倍，這大大減少了其重要零部件更換耗時(shí)的生產(chǎn)成本，提升了其生產(chǎn)效率。