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DLC類金剛石涂層工藝流程及質(zhì)量檢驗(yàn)步驟
來源：公司動(dòng)態(tài) | 發(fā)布日期：2023-08-23

一、DLC類金剛石涂層工藝流程

1、工件基體處理。這一步是比較重要的，將工件拋光到小于Ra0.2um,涂覆處理后的工件才可得到滿意的表面質(zhì)量，這對成形一些具有光學(xué)性能要求的零件是非常重要的，類似成形光學(xué)鏡頭和成形LED零件等。操作的時(shí)候需要注意基體表面處理不能留有死角，這影響到膜層是否能與基體牢固地結(jié)合。

2、充分清洗。將要涂覆的工件進(jìn)行充分清洗，涂覆的母材、質(zhì)量水平和幾何形狀決定了清洗的工藝。工件裝在設(shè)定的夾具上，夾具是在使腔體裝載尺寸優(yōu)化和保證涂覆均勻的基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)的。清洗方法為真空室抽真空至10-6托(高真空)來排除系統(tǒng)中的任何污染物，真空室中通入惰性氣體并使其離子化，導(dǎo)致產(chǎn)生輝光放電(等離子體)，這是氣體清洗階段使零件做好金屬沉淀準(zhǔn)備。

3、金屬沉淀。在用于沉淀的固體金屬上（指靶材）加載高電流、低電壓電弧，金屬被蒸發(fā)并且瞬間離子化，屬離子在高能量的作用下通過惰性氣體或活性氣體進(jìn)入腔體并沉淀在工件上。在金屬沉淀過程中蒸發(fā)了的金屬(靶材)保持不變。在激活的沉淀過程中，改變氣體的體積或種類將會(huì)改變膜層的性質(zhì)，形成像碳化物、氮化物或氧化物的陶瓷。同樣，通過改變靶材的材質(zhì)也可以產(chǎn)生不同的膜層。

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二、類金剛石涂層的質(zhì)量檢驗(yàn)

　　涂覆完成后，就要對成形工件的膜層質(zhì)量進(jìn)行檢驗(yàn)，檢測膜層厚度是否均勻、工件的光澤、膜層是否出現(xiàn)分層及尺寸是否在控制范圍內(nèi)。如果膜層出現(xiàn)問題、厚度超差、結(jié)合力不強(qiáng)等問題需要及時(shí)解決，下面我們來了解一下相應(yīng)的解決辦法是什么吧!

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1、檢驗(yàn)?zāi)泳鶆蚨?/font>

　　檢驗(yàn)成形后的膜層如果出現(xiàn)光澤不均勻、有花紋，應(yīng)該是靶材的材質(zhì)的純凈度不夠，雜質(zhì)多就會(huì)導(dǎo)致膜層不均勻。也可能是涂覆設(shè)備的故障。

　　解決辦法：所以如果檢驗(yàn)出了膜層的問題可以先檢測設(shè)備是否故障，如果設(shè)備穩(wěn)定正常的話則必須更換靶材。

2、檢驗(yàn)?zāi)雍穸?/font>

　　檢驗(yàn)?zāi)訒r(shí)如果發(fā)現(xiàn)厚度超差的情況，可能是處理時(shí)間過長或過短所導(dǎo)致的。

　　解決辦法：在設(shè)備穩(wěn)定正常的情況下，膜層的厚度都是取決于成形的工藝時(shí)間，所以如果出現(xiàn)膜層超差的情況只要調(diào)整處理時(shí)間就可以了。

3、檢驗(yàn)結(jié)合力

　　檢驗(yàn)?zāi)雍凸ぜw之間的結(jié)合力，結(jié)合力不強(qiáng)會(huì)出現(xiàn)分層現(xiàn)象。導(dǎo)致這種問題的原因很多，比如工件清洗得不干凈、不徹底，工件的基體沒有拋光到工藝要求或者存在缺陷，成形工藝參數(shù)不合理等。

　　解決辦法：如果出現(xiàn)這種情況的話需要一一排除，找到真正的原因，從而解決基體與膜層分層的問題，有時(shí)需要在工件上預(yù)先涂覆一層金屬來消除基體本身的缺陷。

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